首頁 -> 內地
中國電科實現國產離子注入機28納米工藝全覆蓋分享到：
      香港新聞網6月29日電 據中國電子科技集團有限公司6月29日消息，該集團旗下中電科電子裝備集團有限公司（簡稱電科裝備）已實現國產離子注入機28納米工藝制程全覆蓋，有力保障中國集成電路制造行業在成熟制程領域的產業安全。
研發人員正在調試離子注入機。（中國電科供圖） 離子注入機是芯片制造中的關鍵裝備。在芯片制造過程中，需要摻入不同種類的元素按預定方式改變材料的電性能，這些元素以帶電離子的形式被加速至預定能量並注入至特定半導體材料中，離子注入機就是執行這一摻雜工藝的芯片制造設備。 當前，28納米是芯片應用領域中覆蓋面最廣的成熟制程。據介紹，電科裝備連續突破光路、控制、軟件等關鍵模塊的核心技術，形成中束流、大束流、高能及第三代半導體等全系列離子注入機產品格局，實現了28納米工藝制程全覆蓋，切實保障國產芯片生產制造。 據了解，作為國內最早從事離子注入設備研制及產業化的企業，電科裝備已具備從產品設計到量產應用的完整研制體系，產品涵蓋邏輯器件、存儲器件、功率器件、傳感器等工藝器件，百台設備廣泛應用於國內各大集成電路先進產線，累計流片2000萬片，有力提升中國產業鏈供應鏈韌性和安全水平。 【編輯：馬華】
|
視頻更 多
李家超談香港首個五年規劃：這屬於全港每一位市民 我們一定落實好
中通社訪李家超：首個五年規劃下香港如何實現有效市場和有為政府結合？
中通社訪李家超：首個五年規劃為國際投資者帶來獨特機遇
逾千名港澳青少年升旗隊員訪京 盼親身感受天安門升旗
【通講壇】當用詞被貼政治標籤 台灣退休教師區桂芝：如同把人關進牢籠
澳科大師生走進香港村落“修族譜”：讓下一代知道我們從哪裡來
名古屋亞運單車賽9月20日開戰！香港單車隊總教練：目標5塊獎牌
來論更 多評論更 多
論壇更 多閱讀排行
|
