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中國國產光刻機工廠落地雄安?中國電子院回應了

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2023-09-19 08:20 | 稿件來源:香港新聞網

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香港新聞網9月19日電 近期,中國各大視頻平台瘋傳一條消息稱清華大學EUV項目把ASML的光刻機巨大化,實現了光刻機國產化,并表示這個項目已經在雄安新區落地。還在視頻中配了這樣一張圖,表示圖片中的項目就是光刻廠。對此,微信公眾號“中國電子院”9月18日發佈信息闢謠稱,該項目并非網傳的國產光刻機工廠,而是北京高能同步輻射光源項目(HEPS)。

網絡上流傳的圖片。圖自微信公眾號“中國電子院”

中國電子院介紹道,HEPS坐落於北京懷柔雁棲湖畔,是中國“十三五”重大科技基礎設施。它是中國第一台高能量同步輻射光源,也是世界上亮度最高的第四代同步輻射光源之一,早在2019年就開始建設,將於2025年底投入使用。

北京高能同步輻射光源項目實拍圖。圖自微信公眾號“中國電子院”

HEPS的作用是通過加速器將電子束加速到6GeV,然後注入周長1360米的儲存環,用接近光速的速度保持運轉。

電子束在儲存環的不同位置通過彎轉磁鐵或者各種插入件時,就會沿著偏轉軌道切線的方向釋放出穩定、高能量、高亮度的光,也就是同步輻射光。(見下圖)

圖自微信公眾號“中國電子院”

簡單的說,HEPS可以看成是一個超精密、超高速、具有強大穿透力的巨型X光機。它產生的小光束可以穿透物質、深入內部進行立體掃描,從分子、原子的尺度多維度地觀察微觀世界。因此HEPS是進行科學實驗的大科學裝置,并不是網傳的光刻機工廠。

該項目由中國勘察設計大師、國投集團首席科學家婁宇帶隊,中國電子院多個技術科研和設計團隊協同合作。

從項目可研立項到項目落地,中國電子院攻克了多項技術和工藝難關,解決了項目不均勻沉降、微振動控制、超長結構設計、光伏板設計、精密溫度控制、工藝循環冷卻水系統、超複雜工藝系統等七大技術難題,實現了重大技術突破,指標控制達到了國際先進水平。

目前高能同步輻射光源配套工程已全面完工,向產生世界最“亮”的光又更近了一步。(完)

【編輯:許豐悅】

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